傳感器相當于人類五官的延伸，讓萬物有了“眼睛”“耳朵”“鼻子”。9月11日，記者走進位于蚌埠市的“中國傳感谷”展廳，展廳內擺放著MEMS陀螺儀、MEMS加速度傳感器、沖壓發動機壓力記錄儀等創新產品。這些產品是蚌埠全力打造智能傳感產業集聚區的生動例證。
“作為全國老工業城市，蚌埠20世紀90年代就已是傳感器制造基地。當前，中國傳感谷正朝著打造自主可控、芯體最多、種類最全、應用最廣，產值超千億元的智能傳感產業集聚區的目標奮力邁進。”蚌埠經開區黨工委委員、管委會副主任湯偉說。
安徽華鑫微納集成電路有限公司是位于中國傳感谷內的一家從事晶圓制造的企業。在該公司的潔凈生產車間，高度智能化的晶圓生產線正在全速運轉。
“公司有全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線，規劃月產能3萬片，預計2027年達產后將成為國內MEMS晶圓產出最大的生產線。”安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經理丁敬秀介紹，MEMS晶圓是智能傳感器的“制造基座”，以前這類晶圓主要依賴進口，現在隨著生產線和制造工藝的不斷完善，可以在很大程度上解決國內產能不足的問題。
“園區內聚集了很多智能傳感器上下游企業，這為企業上下游合作帶來很多好處。”丁敬秀說，比如我們企業生產的晶圓可以直接在園區內企業進行封裝測試甚至應用。
華鑫微納的不遠處是蚌埠富源新型元器件有限公司，這家企業可以進行金屬-玻璃封裝，還能為高端電子產品電鍍。
“公司可以為幾毫米到幾百毫米的工件進行電鍍，兼容鐵、銅、不銹鋼、鋁及合金等材質。”蚌埠富源新型元器件有限公司創始人郭茂玉介紹，公司的技藝可以把鍍層厚度控制在0.01微米精度，鹽霧測試可滿足24小時至上千小時定制要求。
郭茂玉介紹，公司擁有五條自動化生產線，保障高效穩定生產。產品廣泛應用于電子元器件、傳感器、微電子封裝零件、高端醫療器械等領域。
在蚌埠，以芯動聯科、華鑫智感等為領銜的芯片設計，以北方微電子院、華鑫微納等為領銜的晶圓制造，以希磁科技、禹芯半導體等為領銜的封裝測試，以鳴楚新材料、富博新材等為領銜的材料設備，以海車神馭、華安星辰等為領銜的終端應用……一個創新動能強勁、產業協同緊密的智能傳感器全產業鏈體系蓬勃發展。
目前，中國傳感谷內，已集聚相關企業200余家，其中規上企業59家、高新技術企業69家、省級以上專精特新企業40家，上市企業1家、上市輔導備案企業1家。
成績背后，也離不開一系列支持舉措。蚌埠市組建近100億元的智能傳感器基金體系，已運營智能傳感器產業發展等基金4只、總規模26億元；實施項目全生命周期服務體系，首席服務員參與項目成長全過程。同時，聚力推動應用場景開放與產業生態優化，加速智能傳感在工業、交通、社區等領域的規模化應用。
湯偉表示，下一步，中國傳感谷將緊抓科技創新與產業創新融合發展機遇，加快推動智能傳感技術“特長”轉化為智能傳感產業“特產”，不斷提升園區競爭力、影響力，努力把中國傳感谷打造成為有重要影響力的智能傳感產業技術創新策源地，為實現智能傳感領域高水平科技自立自強作出新的貢獻。
( 本報記者 鹿嘉惠)
